なぜ、私たちはグローブボックス内で使用される赤外線ヒーターのテストにこだわるのか？ グローブボックス内で作業を行う際、通常は揮発性の化学物質や不活性ガスを扱います。そのような環境では、ヒーターの故障は単なる面倒な問題にとどまらず、深刻な安全上の危険を招きます。 私たちが製造する赤外線ヒーターは、こ...

ヒーターを修理するために機械を分解するのはやめましょう。 ほとんどの産業用ヒーターは、設置した後はそのまま放置されてしまいます。そして5年後に故障してしまった時、本当に厄介なのは部品の代金ではなく、機械の停止による損失です。壊れた部分を直すために、何時間も、あるいは何日もかけて機械全体を分解しなけ...

リソグラフィー工程において、ベイクモジュールは妥協を許しません。ソフトベイクではフォトレジストの応力を調整し、溶剤を除去します。一方、ハードベイクではエッチング処理の前にフォトレジストの形状を固定します。Axcelisヒーター要素の位置がずれると、温度の均一性が失われます。その結果、ウェーハ全体で...