真空オーブン加熱元素製造

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベークはウォームアップではない。それはプロセスの要である。 ソフトベークまたはハードベークが1.5℃ずれると、CD制御に影響が出る。エッジビードが現れ始め、ウエハが廃棄される。 真空オーブンの加熱要素は、真空下で安定した再現可能な熱を供給しなければならない—粒...