ラムリサーチのヒーター交換

私たちがこのLam Research用のヒーターを開発したのは、高度なウェーハ処理に必要とされる厳しい耐熱性に対応するためです。重要なのは、サイクルを重ねても温度が一定に保たれ、0.1℃以内の誤差で推移することです。プロセスの精度がナノメートル単位で決まる場合、温度の変動は単なる「許容範囲」以上の...