熱風を使うのはやめましょう：なぜ真空赤外線加熱が最適なのか もし依然として半導体製造に熱風循環方式を使用しているのであれば、その遅さに気づいているはずです。とてもイライラすることです。ウェハーが温度上昇を感じるまで、チャンバー内の空気全体や各分子が温まるのを待たなければなりません。これは非常に遅い...

300mmラインでは、フォトレジストの焼成中に半度程度のずれが生じるだけで、ウェーハの幅が狂ってしまい、多くの製品が廃棄されてしまいます。これこそが、私たちがこの真空対応型IRヒーターを開発した背景です。ここでは、熱管理が非常に重要であり、クリーンルーム内の粒子数は分子単位で測定されます。 技術的...

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベークはウォームアップではない。それはプロセスの要である。 ソフトベークまたはハードベークが1.5℃ずれると、CD制御に影響が出る。エッジビードが現れ始め、ウエハが廃棄される。 真空オーブンの加熱要素は、真空下で安定した再現可能な熱を供給しなければならない—粒...