ウェーハ加熱の安全距離

チャンバーの壁にエネルギーを無駄にしないでください。 ウェーハを加熱するときは、そのエネルギーが基板に直接当たることが必要です。エネルギーが周囲に散乱してチャンバーの壁に吸収されてしまっては困ります。 問題は、一般的な赤外線ランプはあらゆる方向に熱を放出するという点です。狭い半導体製造装置の中では...