なぜ、スマートファブでは古いオーブンを使うのをやめるべきか スマートファブを構築する際に最も重要なのは、従来の対流式オーブンに頼らないことです。製造プロセスにおいて熱をどのように利用するかを考えるとき、私たちは常に赤外線システムを採用することを推奨します。なぜでしょうか？それは、赤外線システムが、...

可燃性化学物質を加熱する際の安全対策 正直に言って、半導体製造工場で化学溶液を加熱するのは非常に危険な作業です。揮発性の高い溶剤を扱うということは、まるで火薬庫を扱っているようなものです。ちょっとした火花や露出した加熱要素があれば、大惨事につながります。 そのため、私たちは従来の開放型の加熱方式を...

装置が爆発することなくウェーハを加熱する方法 化学的洗浄の際にウェーハを加熱するのは、かなり危険な作業です。正確な温度制御が必要ですが、その作業は可燃性の溶剤のすぐそばで行われます。注意しなければ、大変な事態になりかねません。安全を保つために、私たちは、このような環境下で火災を引き起こさない特殊な...