真空対応の赤外線ヒーター

300mmラインでは、フォトレジストの焼成中に半度程度のずれが生じるだけで、ウェーハの幅が狂ってしまい、多くの製品が廃棄されてしまいます。これこそが、私たちがこの真空対応型IRヒーターを開発した背景です。ここでは、熱管理が非常に重要であり、クリーンルーム内の粒子数は分子単位で測定されます。 技術的...