チャンバーの壁にエネルギーを無駄にしないでください。 ウェーハを加熱するときは、そのエネルギーが基板に直接当たることが必要です。エネルギーが周囲に散乱してチャンバーの壁に吸収されてしまっては困ります。 問題は、一般的な赤外線ランプはあらゆる方向に熱を放出するという点です。狭い半導体製造装置の中では...

ヒーターを修理するために機械を分解するのはやめましょう。 ほとんどの産業用ヒーターは、設置した後はそのまま放置されてしまいます。そして5年後に故障してしまった時、本当に厄介なのは部品の代金ではなく、機械の停止による損失です。壊れた部分を直すために、何時間も、あるいは何日もかけて機械全体を分解しなけ...

リソグラフィー装置の床面上では、ソフトベイク時にわずか0.5度のずれがあっても、CDバイアスが変化し、多くの良品ウエハーが損傷してしまいます。そうしたずれを防ぐために、私たちはウエハー加熱用ランプを独自に開発しました。これにより、設定値を正確に維持でき、推測に頼らずに温度をコントロールできます。...