時間の無駄をやめよう：なぜIR加熱がクリーンルームで優れているのか 半導体の精密加工を行っている人なら、「時間というコスト」の大きさを知っているはずです。長年、強制送風方式に依存してきましたが、正直言って、これは非効率的です。まず空気を温め、次にオーブンの壁を温め、最後に基板を温める必要があります...

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベークはウォームアップではない。それはプロセスの要である。 ソフトベークまたはハードベークが1.5℃ずれると、CD制御に影響が出る。エッジビードが現れ始め、ウエハが廃棄される。 真空オーブンの加熱要素は、真空下で安定した再現可能な熱を供給しなければならない—粒...