半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

ウェーハを清潔に保つために：トロリーヒーターの真実 大量生産の工場では、輸送用トロリー内の赤外線ランプが壊れると、それは単なる厄介事では済みません。まさに悪夢です。 石英管が破損すると、単に壊れるだけでなく、微細なガラス片や電極の破片があちこちに飛び散ります。もしそれがウェーハに当たってしまうと、...