機器が「オーブン」になるのを防ぎましょう
IRランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。半導体のサイズが小さい場合、これは大変な問題です。反射板がないと、エネルギーの約半分が機器の内壁に当たってしまいます。これは無駄遣いです。さらに悪いことに、機器の筐体が過度に熱くなり、作業員が火傷する危険もあります。また、部品も本来よりも早く壊れてしまいます。
この問題を解決するには、精密なアルミニウム製の反射板を使用します。つまり、熱を正確に必要な場所にだけ送り込み、他の場所には行かないようにするのです。
実際の仕組み
赤外線をワークピースの方に戻すと考えてみてください。短波・中波の赤外線を効果的に反射できる高純度のアルミニウムを使用します。反射板を放物線状や楕円形に曲げることで、乱雑な放射状の熱源を集中したビームに変えるのです。そうすることで、「無駄な熱」が機器の筐体に流れ込むのを防ぐことができます。
なぜこれが便利か
反射板を使えば、機器の内部がずっと冷却されます。その結果、冷却ファンを常時フル回転させる必要がなくなります。また、工具の外側の温度も人が触れても大丈夫な程度に保たれます。ウェーハや基板にはより高い熱密度が得られますが、筐体自体はサウナのように熱くなりません。
実際のデメリット
ただし、反射板は魔法の杖ではありません。ランプの構造が少し大きくなってしまいます。そのため、取り付けブラケットを調整する必要があるかもしれません。また、アルミニウムも完璧ではありません。酸化したり、表面にほこりが付着したりすることがあります。そうなると、効率が低下し、再び熱が機器内に漏れ込んでしまいます。正常に動作させるためには、反射板を清潔に保つ必要があります。
長時間強く力を加える際に、反射板が変形しないように、適切な断熱処理を施しておくことが大切です。