なぜゴールド製の反射板がウェーハの硬化処理にとって重要なのか
ウェーハを硬化処理するとき、単に「温度を上げる」というだけではありません。実際には、光子を使った一種のゲームをしているのです。
多くの人々は、コストが安いためにアルミニウム製の反射板を使います。しかし問題は、アルミニウムはエネルギーを過度に吸収してしまうことです。つまり、熱を外に返す代わりに自分が吸収してしまうのです。一方、ゴールドコーティングされた反射板はそうはなりません。赤外線エネルギーのほぼ全てを、正確にウェーハに戻してくれます。
ゴールドの優位性
ゴールドが長波長の赤外線処理に最適なのには理由があります。アルミニウムも一時的には十分ですが、酸化してしまい、効率が低下してしまいます。私たちのゴールドコーティング技術により、ウェーハが極端に高温になっている間でも、反射板は冷却された状態を保ちます。これにより、熱が正確にウェーハに届くのです。
「冷たい部分」の問題を解決する
ウェーハから冷たい部分が見つかるのは最悪の事態です。それにより歩留まりが低下してしまいます。私たちは、このような問題を解決するために、反射板の形状を特別に設計しています。曲率を調整することで、放射エネルギーを一箇所に集中させます。そうすることで、硬化処理の温度に到達する時間が大幅に短縮されます。もし高ワット数のランプを使っても、正確な反射板がなければ、結局は装置の金属部分を加熱するだけで、無駄な努力に終わります。
注意点
ゴールドは精密な素材ですが、少し気難しい面もあります。汚染を嫌います。もしクリーンルームの管理が不十分で、オイルや化学物質が表面に付着してしまうと、反射率が下がってしまいます。また、強力な溶剤を使って洗浄しないでください。そうするとコーティングが剥がれてしまいます。丁寧に扱ってください。
設置時の注意点
この反射板を設置するときは、ランプの位置をしっかり確認してください。たとえ2ミリ程度の誤差があっても、焦点がずれてしまい、硬化処理が均一でなくなってしまいます。私たちは、この反射板がそのまま装着できるように設計しましたが、念のため、熱膨張による隙間も確認してください。長時間の高負荷状態が続くと、反射板が歪んでしまうかもしれません。