ウェーハの温度を適切にコントロールする方法 シリコンウェーハを扱ったことがある人なら、その繊細さがよくわかるでしょう。熱を加える際に少しでも間違えると、ウェーハが歪んでしまいます。これは本当に厄介な問題です。そうした事態を防ぐために、私たちはクリーンルーム用のランプに金メッキされた反射板を使用して...

クリーンルーム用ヒーターを安全かつ無菌の状態に保つために クリーンルームでは、ほんのわずかなほこりでも大問題です。電気的な故障が起きれば、それは悪夢そのものです。このような場所向けに赤外線ヒーターを製造する際、加熱要素自体を正しく作るだけでは不十分です。実際に重要なのは、すべてのランプ管が出荷され...

壊れたランプが生産効率を低下させるのを防ごう 高負荷のファブでは、壊れた赤外線ランプは単なる厄介者に過ぎません。それはまさに悪夢です。 石英管が壊れると、単に割れるだけでなく、ガラスの破片や化学物質がウェーハに直接飛び散ります。一度壊れると、一回分の製品が廃棄処分になってしまいます。これは本当に辛...