ウェーハの温度を適切にコントロールする方法
シリコンウェーハを扱ったことがある人なら、その繊細さがよくわかるでしょう。熱を加える際に少しでも間違えると、ウェーハが歪んでしまいます。これは本当に厄介な問題です。そうした事態を防ぐために、私たちはクリーンルーム用のランプに金メッキされた反射板を使用しています。なぜ金なのでしょうか？それは、貴重なエネルギーがランプの内部に漏れ出してしまっては意味がないからです。
なぜ金を使うのか
アルミニウム製の反射板も一般的ですが、エネルギーを余計に吸収してしまいます。この用途には効率が低すぎます。一方、金は異なります。金はほぼ他のどの物質よりも赤外線をよく反射します。つまり、光子が間違った方向に散乱するのを防ぎ、直接ウェーハに向けてエネルギーを送り込むのです。最良な点は、ワット数を上げることなく、必要な場所に十分な熱を与えられることです。その結果、電気代を抑えることができ、ウェーハもより速く目標温度に到達します。
熱対策
ただし、こんな問題があります。あまりに多くのエネルギーを集中させると、部品が非常に熱くなってしまいます。金メッキは非常に効率的なため、強力な熱が発生します。そのため、冷却装置が十分に機能しているかを確認する必要があります。もし筐体の換気が不十分だと、その熱が内部のシール部分を壊してしまいます。また、高純度の石英管も使用しています。ウェーハ製造においては、わずかな汚染でもすべてを台無しにしてしまいます。そのため、部品を工場から出す前に、あらゆる有機物を除去します。「ほぼ清潔」というだけでは不十分です。
ご自身の工場での利用方法
これらのランプは、通常のIRランプの簡単な代替品として設計されています。焦点距離にも細心の注意を払っています。ウェーハ全体に「冷たい部分」ができないようにしなければなりません。もし加熱が不均一に見える場合でも、慌てないでください。通常は、素子と反射板の位置がずれているだけです。少し調整すれば解決します。
設置時のポイント：
***安定したPIDコントローラーを使用してください。**そうすれば、温度が上昇しすぎて部品が損傷するのを防げます。***手袋を着用してください。**金メッキは指紋を嫌います。皮膚から出る油分が表面に残り、消し去ることのできない暗い斑点ができてしまいます。