듀얼 튜브 골드 코팅 램프

생산 현장에서는 잘 알려진 원리가 적용됩니다. 베이킹 온도가 0.3°C만 변해도 포토레지스트의 특성에 나노미터 단위의 변화가 생기고, 이는 웨이퍼 전체의 선폭 변동으로 나타납니다. 같은 공정을 적용해도 여전히 수율이 떨어집니다. 베이킹 과정은 단순히 가열하는 것이 아...