Geen hete lucht meer gebruiken: waarom vacuüminfraroodstraling de beste oplossing is
Als je nog steeds hete lucht gebruikt voor de verwerking van semiconductoren, dan heb je vast al gemerkt dat dit een traag proces is. Het is frustrerend: je moet wachten tot de hele kamer en elke luchtmolecuul zich hebben opgewarmd, voordat de siliciumplaat überhaupt iets voelt. Het is een langzaam proces dat je productiviteit ondermijnt.
Daarom zijn we overgestapt op vacuüminfraroodstralers. Hierdoor wordt de lucht helemaal uit het proces gezet.
De snelheid is enorm.
Stel je voor: infraroodstralers maken gebruik van elektromagnetische straling. In een vacuüm staat er niets in de weg. De fotonen raken het oppervlak rechtstreeks. Er is geen sprake van ‘opwarmen’ van de ruimte, en je hoeft niet te wachten tot de warmte zich verspreidt. De thermische reactie is bijna onmiddellijk.
Voor een fabriekmanager is dit een droom. Je kunt een proces dat normaal gesproken 20 minuten duurt, verkorten tot slechts enkele seconden.
Maar je kunt niet zomaar een gewone lamp gebruiken. Vacuümemmers zijn zeer zwaar voor de hardware. We gebruiken kwarts elementen met hoge vermogensdichtheid om de warmte geconcentreerd te houden. Omdat er geen lucht is om de overtollige warmte weg te blazen, wordt de apparatuur flink onder druk gezet.
Let goed op je koelingssystemen. Als je koelsysteem niet sterk genoeg is om de overtollige warmte af te voeren, kan dat leiden tot beschadiging van de apparatuur. Dat is zeker iets wat je wilt voorkomen.
Het goede nieuws is dat je minder ruimte nodig hebt. Je hoeft geen grote blazers of complexe leidingen meer te gebruiken. Je hoeft alleen maar de infraroodstralers aan te sluiten en de PID-regelaars in te stellen. klaar.
Er is echter één nadeel: uniformiteit. Infraroodstraling heeft een bepaalde richting, waardoor er hotspots kunnen ontstaan als je niet voorzichtig bent. We lossen dit op door goudcoateerde reflectoren of meervoudige reflectoren te gebruiken, zodat de warmte gelijkmatig over het oppervlak wordt verdeeld.
Verder is er nog het probleem van de reinheid. Wanneer je geen lucht meer laat circuleren, bewegen er geen deeltjes meer rond in de ruimte. Geen vuil, geen risico’s. Alleen maar schone, directe straling.