Stop de scherven: een betere manier om IR-lampen te gebruiken in spoelprocessen
Als je op grote schaal wafern produceert, ken je vast het angstaanjagende scenario: er zijn IR-verwarmingsapparaten gebruikt tijdens het spoelen van de wafern. Op een gegeven moment breekt er plotseling een lamp. Dat is een ramp: één kwartsbuis barst en er komen glasscherven en chemische stoffen terecht op de wafern. Hierdoor wordt een hele lading wafern onbruikbaar.
We hadden genoeg van dit risico, dus we stopten met het gebruik van deze lampen. In plaats daarvan gebruikten we now waterdichte, afgesloten apparaten.
Waarom lampen breken
Standaard IR-lampen zijn gewoon niet geschikt voor gebruik in spoelprocessen. Ze breken meestal door vocht dat in de lamp komt of door thermische schokken. Stel je voor: er zit een buis bij 600°C. Als er één klein druppeltje water op die oppervlakte terechtkomt, ontstaat er een enorme spanningsspanning – en dan breekt de buis.
Om dit te voorkomen, plaatsten we een hoogpuur kwartsomhulsel in een waterdichte behuizing gemaakt van chemisch bestendig materiaal. Dit fungeert als schild: het water raakt het hete kwarts nooit, zodat de buis niet kan breken.
Zorgen voor veiligheid
We hebben veel aandacht besteed aan het voorkomen van lekken. We gebruikten versterkte eindkapjes en speciale sluitingen om de verwarmingsunit volledig af te sluiten van alles wat zich buiten bevindt. Hierdoor kun je de vermogenssterkte verhogen zonder zorgen te maken over lekken die de elektronica kunnen beschadigen.
Een tips: controleer altijd of de spanning en het vermogen overeenkomen met die van de lamp. Als je de lamp te hard belast, zal de interne druk toenemen. Dit kan op den duur de waterdichte sluiting beschadigen.
Het gemak van gebruik
Het beste aan deze oplossing is dat het een eenvoudige vervanging is voor de oude lampen. Je hoeft geen moeite meer te doen met complexe beschermingen. Omdat de warmtebron afgesloten is, hoef je je geen zorgen meer te maken over glasscherven die op de wafern terechtkomen.
Let wel op de koeling: omdat de buitenste behuizing wat meer warmte vasthoudt dan een gewone buis, moet je ervoor zorgen dat je koelfans voldoende kracht hebben.
Het is een simpele oplossing die veel problemen kan voorkomen.