Stop met het toestaan dat ozon uw apparatuur beschadigt
Wanneer u in een halfgeleiderfabriek werkt, is contaminatie het laatste wat u wilt hebben. U wilt dat de droog- en hardendprocessen onopgemerkt verlopen – ze moeten gewoon werken, zonder sporen achter te laten op de wafer of de schone ruimte te bederven.
Daar komt de rol van ozonvrije infrarood-lampen om de hoek kijken.
De meeste standaard kortegolf-infraroodlampen stralen straling uit in het bereik van 185 nm tot 254 nm. Het probleem? Die straling raakt het zuurstof in de lucht en veroorzaakt ozon. In een fabriek is ozon eigenlijk een ‘corroderend gif’. Het tast langzaam uw apparatuur aan en beschadigt de ondergronden, voordat u zelfs maar merkt dat er een probleem is.
Het oplossen van dit probleem is eigenlijk best simpel.
We gebruiken speciale kwartsomhullingen of interne filters om die VUV-straling te blokkeren. Door alles wat onder 200 nm valt uit te sluiten, verdwijnen de chemische bijproducten geheel. Er blijft alleen nog maar zuivere thermische energie over.
Het beste van alles? U kunt hoogintensieve hardendcycli uitvoeren, zonder dat u enorme, lawaaierige afvoersystemen nodig heeft om de lucht te zuiveren. Hierdoor voelt de hele ruimte schoner aan.
Het is ook veel sneller.
Stel u eens voor dat u een conventionele oven gebruikt: u moet eerst de lucht verwarmen, zodat deze vervolgens het materiaal kan verwarmen. Dat gaat langzaam. Infrarood werkt anders: het overdraagt energie rechtstreeks naar het materiaal.
Het is efficiënt en snel. De tijd die nodig is om de apparatuur voor te bereiden, wordt korter. Bovendien kunnen we deze systemen in verschillende zones indelen, zodat u geen energie verspilt door het hele apparaat op te warmen, wanneer slechts één klein gebied warmte nodig heeft.
Maar er is wel een nadeel.
Hogintensieve infraroodlampen worden erg heet – echt ontzettend heet, vooral op het lampkopje. Ook al is het proces ‘groen’, de apparatuur draagt toch de spanning.
U kunt niet besparen op koelfans of waterkoelingssystemen. Als u de koeling onvoldoende krachtig maakt, zullen de lampen te heet worden en te vroeg kapotgaan. Dat is een frustrerende manier om een lamp kwijt te raken.
Het gebruik van ozonvrije infraroodlampen maakt het leven veel gemakkelijker. U hoeft zich geen zorgen meer te maken over gevaarlijke gassen en u kunt gemakkelijk aan de ‘milieuvriendelijke’ en ‘loodvrije’ eisen voldoen. Het is de kortste weg naar een schone en stille fabriek.