
Припиніть дозволяти озону пошкоджувати ваше обладнання
Коли ви працюєте на заводі з виробництва напівпровідників, останнє, що вам потрібно – це забруднення. Ваші процеси сушіння та в’ялення мають відбуватися без жодних наслідків – вони не повинні залишати слідів на пластині чи порушувати стан чистої кімнати.
Саме тут на допомогу приходять інфрачервоні лампи без озону.
Більшість стандартних короткохвильових інфрачервоних ламп мають недолік у тому, що вони випромінюють радіацію в діапазоні 185 нм–254 нм. Проблема полягає у тому, що ця радіація взаємодіє з киснем у повітрі та створює озон. У заводах з виробництва напівпровідників озон є справжнім “злим духом” – він поступово пошкоджує компоненти обладнання та пластини, ще до того, як ви помітите проблему.
Рішення цієї проблеми є досить простим.
Ми використовуємо спеціальні кварцеві корпуси чи внутрішні фільтри для блокування випромінювання у діапазоні VUV. Таким чином ми усуваємо всі шкідливі елементи та залишаємо лише чисту теплову енергію.
Найкраще те, що можна використовувати лампи високої інтенсивності без необхідності встановлення великих систем відведення повітря. Це робить приміщення ще більш чистим.
Це також значно швидше.
Уявіть собі конвекційну піч – потрібно спочатку нагріти повітря, а потім повітря нагріває матеріал. Це повільно. Інфрачервоне випромінювання діє інакше – воно передає енергію безпосередньо до матеріалу.
Це ефективно та просто. Час підготовки скорочується, а цикли стають коротшими. Крім того, можна розділити приміщення на зони, щоб не марнувати енергію на нагрівання всієї площі, коли потрібно нагріти лише одну ділянку.
Але є один недолік.
Лампи високої інтенсивності нагріваються дуже сильно – особливо їх корпуси. Хоча процес є екологічним, обладнання все одно піддається навантаженню.
Не можна економити на вентиляторах чи системах охолодження за допомогою води. Якщо охолодження буде недостатнім, кінці ламп перегріються та швидко зламаються. Це дуже незручно.
Перехід на інфрачервоні лампи без озону значно полегшує роботу. Ви можете не турбуватися про контрольери небезпечних газів, а також легко виконувати вимоги щодо екологічності та відсутності свинцю. Це найдешевший шлях до чистішого та тишішого робочого середовища.