Đảm bảo nhiệt độ phù hợp cho các tấm wafer
Nếu bạn từng làm việc với các tấm wafer silicon, bạn chắc hẳn hiểu rõ mức độ nhạy cảm của chúng. Chỉ cần sai sót nhỏ trong việc điều chỉnh nhiệt độ thôi, tấm wafer cũng có thể bị biến dạng. Đó quả là một cơn ác mộng. Để tránh điều này, chúng tôi sử dụng các bộ phản xạ được phủ bằng vàng trong các bóng đèn sử dụng trong phòng sạch. Tại sao lại chọn vàng? Bởi vì chúng tôi không thể để năng lượng quý giá này bị tỏa ra ngoài, vì như vậy thì nó sẽ chẳng mang lại lợi ích gì cả.
Tại sao chúng tôi chọn vàng?
Các bộ phản xạ bằng nhôm rất phổ biến, nhưng chúng hấp thụ quá nhiều năng lượng. Chúng không đủ hiệu quả để sử dụng trong trường hợp này. Vàng thì khác. Vàng là vật liệu lý tưởng để phản xạ ánh sáng hồng ngoại – tốt hơn hầu hết các vật liệu khác. Thay vì để các photon bị lan tỏa sang hướng sai, gương vàng sẽ đẩy chúng trực tiếp xuống tấm wafer. Điểm tuyệt vời nhất là bạn có thể tạo ra nhiệt độ cần thiết ngay tại vị trí cần thiết, mà không cần tăng công suất đèn. Như vậy, chi phí điện tiêu thụ sẽ giảm, và tấm wafer sẽ đạt đến nhiệt độ mong muốn nhanh hơn.
Xử lý vấn đề nhiệt độ
Vấn đề là khi tập trung quá nhiều năng lượng vào một điểm, nơi đó sẽ trở nên rất nóng. Vì lớp phủ vàng rất hiệu quả, nên nó tạo ra nhiệt độ rất cao. Bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát của máy có thể đáp ứng được nhu cầu này. Nếu hệ thống thông gió không hoạt động tốt, nhiệt độ cao sẽ làm hỏng các bộ phận bên trong máy. Chúng tôi cũng sử dụng các ống thạch anh có độ tinh khiết cao. Trong quy trình sản xuất wafer, một chút bụi bẩn cũng có thể phá hủy mọi thứ. Chúng tôi loại bỏ hoàn toàn mọi chất gây ô nhiễm trước khi tấm wafer rời khỏi phòng sản xuất, vì “gần sạch” thì vẫn chưa đủ sạch.
Làm sao để sử dụng chúng trong xưởng của bạn?
Những bóng đèn này được thiết kế để thay thế cho các bóng đèn IR thông thường một cách dễ dàng. Chúng tôi dành rất nhiều thời gian để điều chỉnh khoảng cách tập trung ánh sáng. Chúng tôi muốn đảm bảo rằng không có điểm nào trên tấm wafer bị thiếu nhiệt. Nếu bạn nhận thấy nhiệt độ không đồng đều, đừng panik. Thường thì đó chỉ là do sự mất cân bằng giữa bộ phận phát sáng và gương phản xạ. Chỉ cần điều chỉnh nhỏ thôi là có thể khắc phục được vấn đề.
Một vài mẹo hữu ích khi lắp đặt:
Sử dụng bộ điều khiển PID ổn định. Điều này giúp kiểm soát nhiệt độ, tránh tình trạng nhiệt độ quá cao.
Hãy đeo găng tay khi lắp đặt. Lớp phủ vàng rất nhạy cảm với dấu vân tay. Dầu từ da có thể gây hại cho bề mặt vàng, tạo ra những vết bẩn khó xóa.