Tại sao các bộ phản xạ bằng vàng lại quan trọng trong quá trình xử lý wafer?
Khi xử lý wafer, bạn không chỉ đơn giản là tăng nhiệt độ mà thôi. Thực chất, bạn đang “chơi trò chơi với các photon”.
Hầu hết mọi người chọn các bộ phản xạ bằng nhôm vì chúng rẻ tiền. Nhưng vấn đề là nhôm hấp thụ quá nhiều năng lượng; thay vì phản xạ ánh sáng trở lại, nó lại hấp thụ nhiệt. Chúng tôi sử dụng các bộ phản xạ được phủ bằng vàng vì chúng không làm như vậy. Chúng phản xạ gần như toàn bộ năng lượng hồng ngoại trở lại vào wafer.
Sự khác biệt của vàng
Vàng chính là tiêu chuẩn vàng cho việc xử lý ánh sáng hồng ngoại bước sóng dài. Nhôm có thể sử dụng được trong một thời gian ngắn, nhưng sau đó nó sẽ bị oxy hóa, hiệu suất của nó giảm dần theo thời gian.
Quy trình phủ vàng giúp giữ cho bộ phản xạ ở trạng thái mát mẻ trong khi wafer lại nóng lên cao. Điều này giúp tập trung nhiệt độ một cách chính xác hơn. Bạn sẽ biết chắc chắn rằng nhiệt độ đã đến đúng vị trí cần thiết.
Ngăn chặn tình trạng “vùng lạnh”
Không có gì tồi tệ hơn việc lấy ra wafer và phát hiện ra những vùng lạnh trên bề mặt nó. Điều này sẽ làm giảm hiệu suất xử lý wafer.
Chúng tôi thiết kế các bộ phản xạ này để loại bỏ những vùng lạnh này. Bằng cách điều chỉnh độ cong của chúng, chúng ta có thể tập trung toàn bộ năng lượng hồng ngoại vào một điểm duy nhất. Điều này giúp nhiệt độ đạt được nhanh hơn. Nếu bạn chỉ sử dụng đèn công suất cao mà không có bộ phản xạ chính xác, bạn chỉ đang lãng phí tiền để làm nóng khung máy móc mà thôi.
Nhược điểm
Vàng là vật liệu yêu cầu độ chính xác cao, và nó cũng khá nhạy cảm với bụi bẩn. Nếu bề mặt bị bẩn do dầu hoặc hóa chất, khả năng phản xạ của vàng sẽ giảm. Xin đừng sử dụng các chất tẩy mạnh để làm sạch nó; điều đó sẽ làm mất lớp phủ trên bề mặt vàng. Hãy đối xử với nó một cách cẩn thận.
Lắp đặt
Khi lắp đặt chúng vào hệ thống, hãy kiểm tra kỹ vị trí đặt đèn. Nếu sai lệch chỉ hai milimét thôi, điểm tập trung nhiệt độ cũng sẽ thay đổi, khiến quá trình xử lý wafer không đồng đều.
Chúng tôi thiết kế chúng sao cho có thể lắp đặt một cách dễ dàng, nhưng hãy kiểm tra kỹ khoảng cách giữa các bộ phận. Bạn không muốn bộ phản xạ bị biến dạng sau một thời gian hoạt động trong điều kiện nhiệt độ cao.