Làm thế nào để làm khô các tấm wafer MEMS một cách hiệu quả mà không gây ra những vấn đề phức tạp?
Việc làm khô các tấm wafer cảm biến MEMS đòi hỏi sự cân bằng tỉ mỉ. Bạn cần loại bỏ hết nước trên bề mặt tấm wafer càng nhanh càng tốt – nhưng nếu sử dụng nhiệt độ cao để làm khô chúng, bạn có nguy cơ làm biến dạng tấm wafer hoặc gây ô nhiễm cho toàn bộ lô sản phẩm.
Bí quyết nằm ở việc đảm bảo rằng nhiệt lượng được truyền đến đúng vị trí cần thiết. Hầu hết các máy móc hiện nay đều lãng phí rất nhiều năng lượng vào việc làm nóng phần vỏ kim loại của máy. Chúng tôi khắc phục điều này bằng cách kết hợp các bộ sưởi hồng ngoại chuyên dụng với các tấm phản xạ được phủ bằng vàng.
Tại sao lại chọn vàng? Aluminum là vật liệu thông thường được sử dụng, nhưng nó không phải là lựa chọn tốt lắm. Nó hấp thụ quá nhiều năng lượng hồng ngoại. Trong khi đó, vàng lại khác: trong dải sóng hồng ngoại gần, vàng có khả năng phản xạ hơn 98% năng lượng đó.
Thay vì để nhiệt lượng lan tỏa khắp máy, lớp vàng sẽ phản chiếu ánh sáng trực tiếp xuống tấm wafer. Điều này giúp tạo ra nguồn nhiệt tập trung vào chính vị trí cần thiết, mà không cần tăng công suất của bóng đèn lên.
Vấn đề khó khăn: Nhiệt độ và công suất Khi chọn các bộ sưởi này, bạn cần chú ý đến công suất và diện tích bề mặt của chúng. Các bóng đèn có công suất cao giúp tăng tốc độ xử lý, nhưng chúng cũng tạo ra nhiệt lượng rất lớn. Nếu hệ thống làm mát không thể xử lý được lượng nhiệt này, bạn sẽ gặp nhiều vấn đề – chẳng hạn như tấm wafer bị biến dạng hoặc các cảm biến bị hỏng. Đó là lý do tại sao chúng tôi dành nhiều thời gian để điều chỉnh vị trí tập trung nhiệt lượng.
Duy trì hoạt động ổn định của máy Những bộ sưởi này được thiết kế để thay thế cho các bộ sưởi hồng ngoại thông thường một cách dễ dàng. Chúng tôi chú trọng đến khoảng cách giữa bộ phát nhiệt và tấm phản xạ, vì đó chính là nơi xuất hiện những “vùng không hiệu quả” – những vùng mà nhiệt lượng không thể truyền đến được.
Một lưu ý nhanh: Vàng là vật liệu mềm, nên nó không thể chịu được việc được lau chùi mạnh như aluminum. Nếu sử dụng các chất tẩy rửa mạnh, bề mặt vàng sẽ bị xước. Khi đó, hiệu suất hoạt động của máy sẽ giảm, và chi phí tiêu thụ điện cũng tăng lên. Hãy sử dụng các chất tẩy rửa được phê duyệt để đảm bảo máy hoạt động ổn định.