高品质晶圆加热灯

在光刻过程中，即使只有半度的温度偏差，也足以导致CD偏移，进而损坏许多优质的晶圆。因此，我们设计了专门的晶圆加热装置，从源头消除这种温度偏差——通过精确的热控机制来维持设定的温度值。 关键在于内部设计 我们使用石英封装的短波红外卤素灯。其升温速度很快，且能够保持稳定的状态。在照明区域内，晶圆的温差...