自动晶圆干燥加热器

在300毫米光刻工艺中，人们很快就会明白：在干燥/烘烤步骤中，哪怕温度偏差只有0.1摄氏度，那也绝非“微小的偏差”。这样的微小偏差足以导致关键尺寸出现纳米级的误差，进而影响颗粒数量。自动化的晶圆干燥装置并非单纯的加热工具，它实际上起着调控光刻胶温度的作用，确保其在软烘烤和硬烘烤过程中的温度稳定。此...