用于半导体加热器的热电偶

在晶圆加工过程中，如果在软烘或硬烘阶段温度出现0.5°C的波动，就足以导致CD的位置发生偏移，进而使大量晶圆变成废品。半导体加热器上的热电偶并非附加组件，它们实际上起到反馈作用，确保温度始终处于可控范围内，无论是在不同的生产班次还是不同的时间点下。 从技术层面来看，重要的是： 我们设计的这些热电偶...