MEMS传感器晶圆干燥加热器

如何轻松干燥MEMS传感器晶圆，避免麻烦？ 干燥MEMS传感器晶圆其实需要精心控制。虽然必须尽快去除水分，但如果直接用高温来处理，就有可能导致晶圆变形或整批产品受到污染。 关键在于确保热量能够准确地传递到所需位置。大多数设备在加热金属外壳时会浪费大量能量。我们通过将专用红外线加热器与镀金反射器结合...