为什么我们如此注重对隔热箱内的红外加热器进行测试？ 在隔热箱中工作时，通常会接触到易挥发的化学物质或惰性气体。在这种环境中，如果加热元件出现故障，那不仅仅是个麻烦事，更会带来严重的安全风险。 我们设计的红外加热器能够承受相关压力，但其性能好坏还是取决于出厂前的测试结果。 我们会对每一个加热管进行测...

别再为了修理加热器而拆解整台机器了。 大多数工业用加热器在安装后就被人忽视了，直到它彻底坏掉为止。而当五年后设备出现故障时，真正的麻烦并非部件的更换成本，而是停机时间。你可能需要花费数小时甚至数天来拆解整个机器，只为了找出那个出问题的部件。这真是件令人头疼的事。 我们决定解决这个问题。 直接更换部...

在光刻工艺中，烘烤模块的作用至关重要。软烘烤可以去除光刻胶中的溶剂，而硬烘烤则能在蚀刻步骤之前固定光刻胶的形态。如果Axcelis加热元件的性能出现偏差，那么温度均匀性就会受到影响。这样一来，晶圆上的CD偏差、边缘瑕疵等问题就会出现。甚至在蚀刻机开始工作之前，产品的良率就已经开始下降。 从技术层面...

在生产车间，光刻胶烘烤并不是热身。它是整个工艺的关键。 如果软烘烤或硬烘烤偏离1.5°C，你将会在CD控制中看到问题。边缘堆积开始出现。晶圆会被报废。 真空烘箱的加热元件必须在真空条件下提供稳定、可重复的热量——不增加颗粒或失去均匀性。 我们在技术上的关注点 我们为光刻和光刻胶处理中的真空烘箱设计...