在生产车间，光刻胶烘烤并不是热身。它是整个工艺的关键。 如果软烘烤或硬烘烤偏离1.5°C，你将会在CD控制中看到问题。边缘堆积开始出现。晶圆会被报废。 真空烘箱的加热元件必须在真空条件下提供稳定、可重复的热量——不增加颗粒或失去均匀性。 我们在技术上的关注点 我们为光刻和光刻胶处理中的真空烘箱设计...

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤温度漂移半度就足以导致线宽偏移，进而使整批产品报废。我们设计了石英加热器系统，以确保热性能始终稳定，班班精准控制。 关键点解析 我们采用短波红外石英元件，因为其响应速度快，能实现精确控制。在活跃区，晶圆级均匀性保持在±0.1°C以内，批次间重复性控制在0.2°C以内。 洁净...