定制石英加热器解决方案制造厂

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤温度漂移半度就足以导致线宽偏移，进而使整批产品报废。我们设计了石英加热器系统，以确保热性能始终稳定，班班精准控制。 关键点解析 我们采用短波红外石英元件，因为其响应速度快，能实现精确控制。在活跃区，晶圆级均匀性保持在±0.1°C以内，批次间重复性控制在0.2°C以内。 洁净...