与真空环境兼容的红外加热器

在300毫米光刻生产线中，光阻烘烤过程中哪怕只有半度的温度偏差，都足以导致线宽出现偏差，从而造成大量产品报废。我们开发这种适用于真空环境的红外加热器，正是为了应对这样的挑战——在这种环境中，温度控制至关重要，而洁净室内的颗粒数量甚至需要以分子数来衡量。 从技术层面来看，什么才是最重要的？ 我们使用...