节能型晶圆加热器

如何在不引发爆炸的情况下加热晶圆 在化学清洗过程中加热晶圆是一项需要格外小心的工作。虽然需要精确控制温度，但操作环境却充满了易燃溶剂，稍有不慎就可能导致危险情况。为确保安全，我们使用了专用的红外线灯，这类灯具不会在如此危险的环境中引发点火现象。 “无火花”设计 大多数红外线灯都是“开放式结构”，也...