真空烘箱加热元件制造

在生产车间，光刻胶烘烤并不是热身。它是整个工艺的关键。 如果软烘烤或硬烘烤偏离1.5°C，你将会在CD控制中看到问题。边缘堆积开始出现。晶圆会被报废。 真空烘箱的加热元件必须在真空条件下提供稳定、可重复的热量——不增加颗粒或失去均匀性。 我们在技术上的关注点 我们为光刻和光刻胶处理中的真空烘箱设计...