摒弃热风加热：为何真空红外线加热才是最佳选择 如果您仍在使用热风循环方式来对半导体进行加工，那您肯定已经察觉到其效率极低的问题。这实在令人沮丧——因为必须等待整个腔体以及其中的所有空气分子都升温之后，晶圆才会开始受热。这一过程极其缓慢，严重影响了工作效率。 正因如此，我们改用了真空红外线加热器。这...

在300毫米光刻生产线中，光阻烘烤过程中哪怕只有半度的温度偏差，都足以导致线宽出现偏差，从而造成大量产品报废。我们开发这种适用于真空环境的红外加热器，正是为了应对这样的挑战——在这种环境中，温度控制至关重要，而洁净室内的颗粒数量甚至需要以分子数来衡量。 从技术层面来看，什么才是最重要的？ 我们使用...

在生产车间，光刻胶烘烤并不是热身。它是整个工艺的关键。 如果软烘烤或硬烘烤偏离1.5°C，你将会在CD控制中看到问题。边缘堆积开始出现。晶圆会被报废。 真空烘箱的加热元件必须在真空条件下提供稳定、可重复的热量——不增加颗粒或失去均匀性。 我们在技术上的关注点 我们为光刻和光刻胶处理中的真空烘箱设计...