杜绝玻璃碎片：更有效的红外灯使用方法 如果你们从事大规模的晶圆生产，那么你们一定很清楚那种糟糕的情况：在清洗过程中使用红外加热装置时，突然之间灯泡就坏了。这简直就是一场灾难——一个石英管破裂后，玻璃碎片和化学物质就会沾染到晶圆上，这样一来，整批晶圆就报废了。 我们厌倦了这种风险，因此不再使用那种开...

在晶圆厂车间，冲洗步骤是一项受控风险。残留的水分意味着微量污染，干燥周期不充分可能导致光刻胶返工，甚至在图案转移到晶圆之前就影响良率。快速干燥的冲洗后晶圆灯旨在消除这种不确定性。 核心技术细节 我们采用短波红外（SWIR）发射器作为核心，使干燥过程快速且非接触式。热量传递迅速且无机械损伤，并且我们...