Axcelis加热元件备件

在光刻工艺中，烘烤模块的作用至关重要。软烘烤可以去除光刻胶中的溶剂，而硬烘烤则能在蚀刻步骤之前固定光刻胶的形态。如果Axcelis加热元件的性能出现偏差，那么温度均匀性就会受到影响。这样一来，晶圆上的CD偏差、边缘瑕疵等问题就会出现。甚至在蚀刻机开始工作之前，产品的良率就已经开始下降。 从技术层面...