双管镀金灯管

在制造车间里，流程是固定的。如果烘烤温度出现0.3摄氏度的变化，就会导致光刻胶的厚度发生纳米级的变化，而这又会表现为晶圆上各处的线宽出现差异。即使使用相同的工艺参数，产率仍然会下降。因此，烘烤步骤不仅仅是简单的加热过程，它还需要具备极高的重复性。 关键在于稳定性 我们设计的双管结构、镀金处理的灯源...