在制造车间里，流程是固定的。如果烘烤温度出现0.3摄氏度的变化，就会导致光刻胶的厚度发生纳米级的变化，而这又会表现为晶圆上各处的线宽出现差异。即使使用相同的工艺参数，产率仍然会下降。因此，烘烤步骤不仅仅是简单的加热过程，它还需要具备极高的重复性。
关键在于稳定性
我们设计的双管结构、镀金处理的灯源，其工作原理是基于短波红外辐射。镀金的石英外壳能够将热量反射回加工区域，从而提高热效率，减少热点现象。这样一来，晶圆表面的温度均匀性可以控制在±0.1摄氏度范围内，这样就能确保软烘烤和硬烘烤过程中的参数始终保持在允许范围内。此外，该灯源所使用的材料与结构都适合在1级到100级的洁净环境中使用，从而有效减少颗粒物的产生。
长期稳定性
该灯源在数千小时的使用后仍能保持稳定的输出性能，而且其光谱输出也得到了精确控制，符合光刻胶的热处理要求。
为何这很重要
烘烤步骤对于确保光刻胶的粘附性、去除溶剂以及控制关键尺寸至关重要。通过±0.1摄氏度的精确控制，可以减少重叠误差和尺寸波动。这样一来，返工率也会降低，而生产流程的稳定性也会得到提升。
更高的热效率
更高的热效率意味着更低的能耗，同时也能让腔室内的环境更加稳定，从而缩短预热时间并优化整个生产流程。该灯源可以24/7持续运转，且维护间隔也相当规律，因此几乎不会出现意外停机的情况。
最终效果
如此一来，废品率就会降低，不同晶圆之间的质量一致性也会提高，而且整个生产流程能够在多次循环中始终保持规定的标准。
一些注意事项
镀金层虽然具有高反射率和耐用性，但需要小心处理和清洁，以避免表面受到损伤。另外，必须确保灯源与反射器以及电源的匹配度，否则会影响温度均匀性。此外，还需要定期检查灯源的输出情况，以保持其长期稳定性。