别再让热量白白浪费在腔室墙壁上了 在加热晶圆时，你希望能量能够直接作用于晶圆本身。当然，你不希望这些能量四处散逸，从而被腔室墙壁吸收。 问题在于，普通的红外灯会将热量向各个方向散发。在空间有限的半导体加工设备中，那些墙壁实际上就变成了巨大的散热器。这无疑会带来麻烦——不仅可能损坏敏感的电子元件，还...

为什么金制反射器对晶圆固化如此重要？ 在晶圆固化过程中，我们并非只是简单地提高温度而已。实际上，我们是在让光子“反弹”。大多数人最初会选择铝制反射器，因为它的成本较低。但问题在于：铝会吸收过多的能量，而不是将热量反射回去。而我们使用镀金反射器，因为它们不会这样——它们几乎能将每一瓦特的红外能量都反...

如何轻松干燥MEMS传感器晶圆，避免麻烦？ 干燥MEMS传感器晶圆其实需要精心控制。虽然必须尽快去除水分，但如果直接用高温来处理，就有可能导致晶圆变形或整批产品受到污染。 关键在于确保热量能够准确地传递到所需位置。大多数设备在加热金属外壳时会浪费大量能量。我们通过将专用红外线加热器与镀金反射器结合...

为何我们要在芯片制造中采用红外固化技术 说实话，传统的对流式烤箱效率极低。它们加热速度慢，而且依赖有害的化学物质来达到加热效果。实际上，它们只是让空气变热而已。我们正在放弃这种传统方式，转而使用红外固化技术。 最大的区别在于：红外技术无需通过空气来传递热量，而是直接作用于材料本身。正因如此，它被视...

为何我们选择使用红外固化技术来满足无铅半导体制造标准 当人们谈论在晶圆加工过程中实现“环保”或“无铅化”目标时，他们通常会关注所使用的化学物质。但实际上，更重要的是如何控制热量。 因此，我们选择使用红外固化技术。与其试图加热整个加工腔体，不如直接对芯片基板进行加热。 将热量精确地传递到需要的地方...

如何在不引发爆炸的情况下加热晶圆 在化学清洗过程中加热晶圆是一项需要格外小心的工作。虽然需要精确控制温度，但操作环境却充满了易燃溶剂，稍有不慎就可能导致危险情况。为确保安全，我们使用了专用的红外线灯，这类灯具不会在如此危险的环境中引发点火现象。 “无火花”设计 大多数红外线灯都是“开放式结构”，也...

高性能红外卤素灯：满足您晶圆加工需求的首选解决方案 如果您在运营晶圆加工生产线，却不得不在昂贵的知名品牌产品与性能不足的替代品之间做出选择，那我们完全理解您的困扰。我们的工业用红外卤素灯正是为满足这种需求而设计的——它们具有高度可靠性与出色的性能，是您可以信赖的理想选择。这类灯具专为那些对温度控制...

在300毫米光刻工艺中，人们很快就会明白：在干燥/烘烤步骤中，哪怕温度偏差只有0.1摄氏度，那也绝非“微小的偏差”。这样的微小偏差足以导致关键尺寸出现纳米级的误差，进而影响颗粒数量。自动化的晶圆干燥装置并非单纯的加热工具，它实际上起着调控光刻胶温度的作用，确保其在软烘烤和硬烘烤过程中的温度稳定。此...

在光刻过程中，即使只有半度的温度偏差，也足以导致CD偏移，进而损坏许多优质的晶圆。因此，我们设计了专门的晶圆加热装置，从源头消除这种温度偏差——通过精确的热控机制来维持设定的温度值。 关键在于内部设计 我们使用石英封装的短波红外卤素灯。其升温速度很快，且能够保持稳定的状态。在照明区域内，晶圆的温差...

在晶圆厂车间，冲洗步骤是一项受控风险。残留的水分意味着微量污染，干燥周期不充分可能导致光刻胶返工，甚至在图案转移到晶圆之前就影响良率。快速干燥的冲洗后晶圆灯旨在消除这种不确定性。 核心技术细节 我们采用短波红外（SWIR）发射器作为核心，使干燥过程快速且非接触式。热量传递迅速且无机械损伤，并且我们...