
为什么金制反射器对晶圆固化如此重要?
在晶圆固化过程中,我们并非只是简单地提高温度而已。实际上,我们是在让光子“反弹”。大多数人最初会选择铝制反射器,因为它的成本较低。但问题在于:铝会吸收过多的能量,而不是将热量反射回去。而我们使用镀金反射器,因为它们不会这样——它们几乎能将每一瓦特的红外能量都反射回晶圆上。
金制反射器的优势
黄金之所以能成为长波红外线领域的最佳材料,是有原因的。铝虽然暂时可以满足需求,但它会氧化,效率也会逐渐下降。而我们的镀金反射器则能在晶圆变得极热的情况下仍保持冷却状态。这样可以更精确地控制热量分布,确保热量能够准确到达晶圆上。
避免“冷点”问题
最糟糕的情况莫过于取出晶圆后发现上面还有冷点存在,这会大大降低产品的良率。我们特意设计了这种反射器,以消除这些冷点。通过调整其曲率,我们可以将所有热量集中到一个点上。这样一来,就能更快达到所需的固化温度。如果不用精确的反射器,直接使用高功率灯,那其实只是浪费钱而已,因为那样做只会让设备的金属外壳变热而已。
需要注意的问题
不过,黄金是一种精密材料,它对污染非常敏感。如果洁净室环境不达标,有油污或化学物质沾到其表面,其反射率就会下降。请不要用强溶剂来清洁它,那样会导致涂层脱落。必须小心对待它。
安装时的注意事项
在将反射器安装到设备上时,一定要仔细检查灯光的对齐情况。哪怕偏差只有两毫米,都会导致焦点偏移,从而使固化过程变得不均匀。我们设计的反射器是为了方便安装,但还是要确保其热膨胀间隙合适。否则,长时间处于高温环境下,反射器可能会变形。