如何轻松干燥MEMS传感器晶圆，避免麻烦？
干燥MEMS传感器晶圆其实需要精心控制。虽然必须尽快去除水分，但如果直接用高温来处理，就有可能导致晶圆变形或整批产品受到污染。
关键在于确保热量能够准确地传递到所需位置。大多数设备在加热金属外壳时会浪费大量能量。我们通过将专用红外线加热器与镀金反射器结合在一起来解决这个问题。
为什么选择黄金？
虽然铝是常用的材料，但它并不理想——因为它会吸收过多的红外能量。而黄金则不同，在近红外光谱范围内，它能反射超过98%的红外能量。这样，热量就不会在机器周围散开，而是直接照射在晶圆上。这就好比用放大镜而不是灯泡来照明——这样就能在需要的地方产生更强烈的热量，而且无需提高灯具的功率。
难点：热量与功率的平衡
在选择加热器时，必须确保其功率和表面积恰到好处。高功率的加热器虽然能加快处理速度，但也会产生大量热量。如果冷却系统无法有效排除这些热量，就会导致问题出现，比如晶圆变形或传感器损坏。因此，我们花费大量时间来调整加热器的焦点，确保热量能准确地作用于晶圆表面。
保持设备正常运行
这些加热器设计为可直接替代传统的红外线加热器。我们特别注重了发射器与反射器之间的间隙，因为那里容易形成“无效区域”——即热量无法有效传递的区域。
最后需要注意的是：黄金质地柔软，无法像铝那样承受强烈的磨损。如果使用过于粗糙的清洁剂，就会划伤表面。这样一来，设备的效率就会下降，能耗也会增加。建议使用经过认证的光学清洁剂，这样就能确保设备正常运行。