别再浪费时间了：为什么红外线加热在洁净室中更优 如果你从事半导体的深度加工工作，那么你一定知道“时间成本”是一个巨大的问题。多年来，我们一直依赖强制对流加热方式，但说实话，这种方式效率极低。你必须先加热空气，再加热烤箱的墙壁，最后才能加热工件。这就好比试图通过先加热车道来让整个房子变暖一样。 而红...

在生产车间，光刻胶烘烤并不是热身。它是整个工艺的关键。 如果软烘烤或硬烘烤偏离1.5°C，你将会在CD控制中看到问题。边缘堆积开始出现。晶圆会被报废。 真空烘箱的加热元件必须在真空条件下提供稳定、可重复的热量——不增加颗粒或失去均匀性。 我们在技术上的关注点 我们为光刻和光刻胶处理中的真空烘箱设计...