متوقف کنید هدر رفتن گرما در دیوارههای محفظه
وقتی که در حال گرم کردن ویفرها هستید، میخواهید که انرژی مورد نیاز، مستقیماً به سطح آنها برسد. نمیخواهید که این انرژی در اطراف پراکنده شده و وارد دیوارههای محفظه شود.
مشکل اینجاست که لامپهای مادون قرمز استاندارد، گرما را به همه جهات پرتاب میکنند. در چنین فضاهای تنگی، دیوارهها عملاً به منابع گرمایی بزرگی تبدیل میشوند؛ این امر میتواند باعث آسیب به تجهیزات حساس شود، یا در بدترین حالت، باعث سوختگی تکنسینها در حین تعمیرات شود.
رساندن گرما به جای مناسب آن
ما از فناوری مادون قرمز جهتدار برای حل این مشکل استفاده میکنیم. با استفاده از منعکسکنندهها یا پوششهای خاص روی غلاف کوارتز، میتوانیم انرژی مادون قرمز را به سمت مورد نظر هدایت کنیم.
به این ترتیب، بار گرمایی در یک نقطه متمرکز میشود؛ در نتیجه، فریم دستگاه مجبور نیست انرژی اضافی را جذب کند.
شاید فکر کنید: «چرا لامپ را نزدیکتر به ویفر نبریم تا گرمای بیشتری تولید شود؟»
این کار را نکنید؛ اگر لامپ خیلی نزدیک شود، مناطقی با دمای بالا ایجاد خواهد شد و گرمایش نامتقارن خواهد بود. اگر لامپ خیلی دور باشد، کارایی دستگاه کاهش خواهد یافت. ما فاصله دقیق منعکسکننده را بر اساس قطر ویفر تعیین میکنیم؛ به این ترتیب، گرما به طور یکنواخت روی سطح ویفر پخش میشود و سایر قطعات دستگاه نیز سرد باقی میمانند.
معایب این روش (چون هیچ چیز کامل نیست)
گرمایش جهتدار، راهحل جادویی نیست. وقتی که پرتو مادون قرمز را در یک جهت هدایت میکنیم، فیلامنت لامپ نیز تحت فشار قرار میگیرد؛ در نتیجه، دمای فیلامنت بالاتر از لامپهای استاندارد خواهد بود.
بنابراین، نباید از سیستمهای خنککننده غفلت کرد؛ فنها یا سیستمهای آبی باید بتوانند این گرمای متمرکز را کنترل کنند. اگر جریان هوا مختل شود، لامپها خیلی زود خراب خواهند شد.
توصیه من این است که در اولین بار استفاده از دستگاه، از دوربین حرارتی استفاده کنید؛ اگر دیوارههای داخلی هنوز گرم بودند، احتمالاً نیاز به تنظیم زاویه منعکسکننده یا تغییر فاصله آن وجود دارد.
وقتی که این موارد تنظیم شدند، دیگر نیازی نیست برای گرم کردن فریم دستگاه، انرژی بیشتری خرج کنید.