Arrêtez de gaspiller de la chaleur sur les parois de votre chambre de traitement
Lorsque vous chauffez des wafer, vous voulez que cette énergie atteigne directement le substrat. C’est tout. Vous ne voulez pas qu’elle se disperse et s’accumule dans les parois de la chambre.
Le problème, c’est que les lampes infrarouges standard émettent de la chaleur dans toutes les directions. Dans un équipement de semi-conducteurs étroit, ces parois deviennent en fait de gigantesques dissipateurs de chaleur. Cela peut causer des problèmes : vous risquez de endommager des composants électroniques sensibles, ou pire, de blesser un technicien lors de l’entretien.
Diriger la chaleur là où elle doit aller
Pour résoudre ce problème, nous utilisons des technologies infrarouges directionnelles. En utilisant des réflecteurs ou des revêtements spéciaux sur l’enveloppe en quartz, nous indiquons à l’énergie infrarouge quelle direction prendre. Ainsi, toute la chaleur reste concentrée sur la cible.
Vous pourriez penser : « Pourquoi ne pas simplement rapprocher la lampe du wafer pour obtenir plus de chaleur ? » Mais ne faites pas cela. Si vous êtes trop proche, vous créerez des zones chaudes et un chauffage inégal. Si vous êtes trop loin, vous perdez en efficacité. Nous déterminons la longueur focale exacte du réflecteur en fonction du diamètre du wafer. De cette manière, la chaleur est répartie uniformément sur la surface, tandis que les composants environnants restent frais au toucher.
Les compromis (car rien n’est parfait)
Le chauffage directionnel n’est pas une solution miracle. Lorsque vous forcez le faisceau infrarouge dans une direction donnée, le filament de la lampe subit également une pression supplémentaire. Il devient donc plus chaud que celui d’une lampe classique.
Cela signifie que vous ne pouvez pas négliger le refroidissement. Vos ventilateurs ou systèmes de refroidissement par eau doivent être capables de gérer cette chaleur concentrée à sa source. Si le flux d’air est insuffisant, les lampes s’éteindront beaucoup plus rapidement qu’elles ne le devraient.
Mon meilleur conseil ? Utilisez une caméra thermique lors de votre première tentative. Si les parois intérieures sont encore chaudes, il vous faudra probablement ajuster l’angle du réflecteur ou modifier la distance de sécurité.
Une fois que la géométrie sera optimisée, vous n’aurez plus besoin de dépenser de l’énergie inutilement pour chauffer le cadre de la machine.