なぜ、スマートファブでは古いオーブンを使うのをやめるべきか スマートファブを構築する際に最も重要なのは、従来の対流式オーブンに頼らないことです。製造プロセスにおいて熱をどのように利用するかを考えるとき、私たちは常に赤外線システムを採用することを推奨します。なぜでしょうか？それは、赤外線システムが、現代のデータ駆動型工場が持つべき特性に合致しているからです。
熱の制御 デジタル生産では、数字がすべてです。毎秒何が起こっているかを正確に把握する必要があります。赤外線システムを使えば、PWMやSCRコントローラを使って熱量を調整でき、各ウェーハにどれだけのエネルギーが与えられているかを正確に把握できます。 考えてみてください。熱風は非効率的です。一方、赤外線エネルギーは直接対象物に届きます。これにより、処理速度が向上し、クリーンルームのスペースも節約できます。
ハードウェアの「通信」 加熱源とセンサーが連携していなければ、ファブは真に「スマート」とは言えません。私たちは赤外線発信器を閉ループ型高温計に接続し、システムが表面温度をリアルタイムで把握できるようにしています。 温度が高くなりすぎると、即座に電力が切れます。従来のヒーターのように、温度が上昇しすぎる心配もありません。常に一定の温度プロファイルが得られ、品質管理の際にはその記録を証拠として利用できます。
実際のトレードオフ もちろん、すべてが完璧なわけではありません。高密度の赤外線アレイは多くの製品を処理できますが、多くの電力を消費します。したがって、装置が起動した時の急激な電力需要に対応できる電源を用意する必要があります。また、冷却ファンも十分なものを用意するべきです。冷却ファンが小さいと、ランプからの熱が電子機器に影響を与え、問題を引き起こす可能性があります。 しかし、一番重要なのは波長です。 私たちは、特定の材料に合わせて波長を最適化するために多くの時間を費やします。短波長の赤外線は厚い基板の内部まで届きます。中波長は表面の乾燥に適しています。発信器を材料に合わせることで、チャンバーの壁を温めるための無駄なエネルギーの使用を防げます。そうすることで、実際にコスト削減が可能になります。