Hentikan pembaziran tenaga pada dinding bilik pemprosesan
Ketika anda memanaskan wafer, anda ingin agar tenaga tersebut sampai ke permukaan wafer tersebut sahaja. Anda tidak mahu tenaga tersebut tersebar dan diserap oleh dinding bilik pemprosesan.
Masalahnya ialah lampu inframerah biasa akan memancarkan haba ke semua arah. Dalam alat pemprosesan semikonduktor yang sempit, dinding-dinding tersebut akan bertindak sebagai penyerap haba yang besar. Ini akan menyebabkan masalah—elektronik yang sensitif boleh rosak, atau paling teruk, teknisi boleh cedera akibat haba yang berlebihan semasa melakukan kerja-kerja penyelenggaraan.
Mengarahkan haba ke tempat yang sepatutnya
Kita boleh menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan teknologi inframerah yang dapat mengarahkan haba ke satu arah tertentu. Dengan menggunakan reflektor atau lapisan khusus pada permukaan kaca kuarsa, kita dapat mengarahkan tenaga inframerah ke tempat yang diinginkan.
Dengan cara ini, beban haba akan tertumpu pada permukaan wafer sahaja. Sebaliknya, bingkai mesin tidak perlu menyerap tenaga yang tidak digunakan. Suhu di sekitar komponen mesin juga akan tetap rendah.
Anda mungkin tertanya-tanya, “Mengapa tidak letakkan lampu lebih dekat dengan wafer supaya haba dapat disalurkan dengan lebih efektif?” Jangan lakukan itu. Jika lampu terlalu dekat dengan wafer, akan timbul titik panas yang boleh merosakkan wafer tersebut. Jika lampu terlalu jauh pula, keberkesanan sistem pemanasan akan berkurangan. Kita perlu menentukan jarak fokus reflektor berdasarkan diameter wafer tersebut. Dengan cara ini, haba akan tersebar secara merata, dan komponen-komponen lain akan tetap sejuk.
Kompromi yang perlu diterima (kerana tiada yang sempurna)
Pemanasan yang terarah bukanlah penyelesaian yang sempurna. Apabila sinar inframerah dipaksa untuk mengalir ke satu arah tertentu, filamen lampu akan menjadi lebih panas daripada lampu biasa. Ini bermakna sistem penyejukan perlu berfungsi dengan baik untuk mengatasi masalah ini. Jika aliran udara terhalang, lampu akan cepat rosak.
Nasihat saya? Gunakan kamera termal semasa percubaan pertama. Jika dinding dalaman masih panas, Anda perlu menyesuaikan sudut reflektor atau jarak antara lampu dan wafer. Setelah segala tetapan disesuaikan, Anda tidak perlu membayar kos tenaga yang digunakan untuk memanaskan bingkai mesin.