Mengapa kita menggunakan kaedah pengeringan inframerah untuk standard semikonduktor bebas plumbum
Apabila orang bercakap tentang konsep “mesra alam” atau “tanpa plumbum” dalam reka bentuk alat pemprosesan wafer, mereka biasanya memberi tumpuan kepada bahan kimia yang digunakan. Namun sebenarnya, yang lebih penting ialah cara kita mengawal suhu semasa proses pemprosesan.
Itulah sebabnya kita menggunakan kaedah pengeringan inframerah. Daripada memanaskan seluruh ruang alat pemprosesan, kita hanya perlu memanaskan permukaan wafer sahaja.
Memastikan suhu dicapai di tempat yang tepat
Bayangkan oven konvensional biasa – ia menghabiskan masa yang lama untuk memanaskan udara di dalamnya. Ini merupakan pembaziran tenaga.
Inframerah pula berbeza. Ia menggunakan radiasi elektromagnetik untuk menggerakkan molekul-molekul yang terdapat dalam bahan pelekat atau fotoresist. Hasilnya, wafer akan mencapai suhu yang sesuai dalam masa beberapa saat sahaja. Dengan cara ini, kita tidak perlu berhadapan dengan masalah berkaitan suhu yang tinggi, dan itulah sebabnya inframerah menjadi pilihan utama untuk menjimatkan tenaga dalam bilik bersih.
Menjaga suhu pada tahap yang sesuai
Polimer dan bahan pelekat bebas plumbum sangat sensitif terhadap perubahan suhu. Jika suhu terlalu tinggi, wafer boleh rosak atau mengalami kerosakan kekal. Untuk mengelakkan perkara ini, kita menggunakan sensor yang canggih untuk memantau suhu secara berterusan.
Oleh kerana kita menggunakan inframerah berfrekuensi tinggi, kita boleh menaikkan atau menurunkan suhu dengan cepat. Ini merupakan tahap kawalan yang tidak dapat dicapai melalui kaedah pemanasan konvensional yang lambat, yang cenderung merosakkan bahan kimia yang digunakan.
Kebaikan dan keburukan penggunaan inframerah
Inframerah memang pantas. Namun, kelajuan ini mempunyai kelemahannya. Kepadatan haba yang dihasilkan sangat tinggi. Jika sensor berada di posisi yang salah atau sistem kawalan suhu tidak diset dengan betul, wafer boleh mengalami kerosakan akibat suhu yang tinggi. Selain itu, sistem penyejukan juga perlu berfungsi dengan baik agar sensor tidak rosak.
Kita mendapati bahawa gabungan penggunaan pengeluarkan inframerah dengan sensor berfrekuensi tinggi dapat membantu mengekalkan suhu pada tahap yang sesuai, tanpa perlu menggunakan bahan pemanas yang berbahaya.