Hãy ngừng lãng phí nhiệt lượng trên các bức tường của buồng xử lý
Khi bạn sưởi ấm các tấm wafer, bạn muốn năng lượng được truyền trực tiếp vào bề mặt của chúng. Bạn không muốn năng lượng đó bị lan tỏa và làm nóng các bức tường trong buồng xử lý.
Vấn đề là các bóng đèn hồng ngoại thông thường phát ra nhiệt lượng theo mọi hướng. Trong những thiết bị xử lý bán dẫn có không gian hạn chế, các bức tường này trở thành những “bình giảm nhiệt” khổng lồ. Điều này gây ra nhiều vấn đề: có thể làm hỏng các linh kiện điện tử nhạy cảm, hoặc tổn thương kỹ thuật viên khi họ tiến hành bảo trì.
Làm thế nào để nhiệt lượng được truyền đến đúng nơi cần thiết?
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng công nghệ hồng ngoại có hướng chiếu. Bằng cách sử dụng các tấm phản xạ hoặc lớp phủ đặc biệt trên vỏ bóng đèn, chúng tôi có thể điều chỉnh hướng truyền nhiệt lượng. Nhờ đó, nhiệt lượng sẽ được tập trung vào mục tiêu cần xử lý.
Bạn có thể tự hỏi: Tại sao không đặt bóng đèn gần tấm wafer hơn để tăng hiệu quả sưởi ấm?
Đừng làm vậy. Nếu đặt bóng đèn quá gần, sẽ xuất hiện những điểm nóng không đồng đều, gây ra tình trạng nóng không đều. Ngược lại, nếu đặt bóng đèn quá xa, hiệu quả sưởi ấm sẽ giảm. Chúng tôi xác định khoảng cách tối ưu cho tấm phản xạ dựa trên đường kính của tấm wafer. Nhờ đó, nhiệt lượng sẽ được phân bố đều trên bề mặt tấm wafer, và các bộ phận xung quanh sẽ vẫn giữ được nhiệt độ ổn định.
Những trade-off cần lưu ý (Bởi vì không có gì là hoàn hảo)
Công nghệ sưởi ấm có hướng chiếu cũng không phải là giải pháp hoàn hảo. Khi bạn buộc bức xạ hồng ngoại phải di chuyển theo một hướng nhất định, filament của bóng đèn sẽ bị nóng lên. Điều này có nghĩa là bạn cần đảm bảo hệ thống làm mát hoạt động tốt để xử lý lượng nhiệt lượng này. Nếu dòng khí không đủ mạnh, bóng đèn sẽ nhanh chóng bị hỏng.
Lời khuyên tốt nhất của tôi là hãy sử dụng máy quay nhiệt trong lần sử dụng đầu tiên. Nếu các bức tường bên trong vẫn còn nóng, có lẽ bạn cần điều chỉnh góc phản xạ hoặc khoảng cách an toàn của bóng đèn.
Khi mọi thứ đã được điều chỉnh đúng cách, bạn sẽ không còn phải tốn tiền cho việc sưởi ấm các bộ phận khác của máy nữa.