Die richtige Temperatur für die Siliziumwafers erreichen
Wenn Sie schon einmal mit Siliziumwafers zu tun hatten, wissen Sie, wie empfindlich diese sind. Schon eine kleine Fehlbewegung bei der Hitzebehandlung kann dazu führen, dass die Wafers verformt werden. Das ist ein Albtraum. Um das zu verhindern, verwenden wir in unseren Reinraumlampen reflektierende Elemente, die mit Gold überzogen sind. Warum Gold? Weil wir es uns nicht leisten können, dass diese wertvolle Energie in den Lampenkörper entweicht – dort nützt sie ja nichts.
Warum wir auf Gold setzen
Aluminiumreflektoren sind zwar gängig, aber sie saugen zu viel Energie auf. Sie sind einfach nicht effizient genug für diesen Zweck. Gold hingegen ist anders: Es ist der Goldstandard – es reflektiert Infrarotlicht besser als fast alles andere. Anstatt die Photonen in die falsche Richtung zu schicken, lenkt das Goldspiegel sie direkt auf die Wafers.
Der Vorteil: Man erhält genau die richtige Menge an Wärme an der Stelle, wo sie benötigt wird – ohne dass man die Leistung der Lampe erhöhen muss. Dadurch bleibt die Stromrechnung niedrig, und die Wafers erreichen die gewünschte Temperatur viel schneller.
Umgang mit der Hitze
Das Problem ist: Wenn man so viel Energie konzentriert, werden die Dinge sehr heiß. Da die Goldbeschichtung so effizient ist, entsteht viel Wärme. Man muss sicherstellen, dass die Kühlung ausreicht. Wenn der Lampenkörper nicht richtig belüftet wird, kann die Wärme schließlich die inneren Abdichtungen zerstören.
Wir verwenden außerdem Hochreinheitsquarzzylinder. In einer Waferfabrik kann bereits ein einziger Schmutzkorn alles ruinieren. Wir entfernen alle organischen Rückstände aus den Komponenten, bevor sie die Fabrik verlassen – denn „fast rein“ reicht einfach nicht aus.
Die Lampen in Ihrer Werkstatt einsetzen
Diese Lampen sind als einfache Ersatzlösungen für Ihre Standard-IR-Lampen konzipiert.
Wir achten besonders auf die Brennweite der Lampen. Wir möchten sicherstellen, dass es keine „kalten Stellen“ auf den Wafers gibt. Falls die Heizung ungleichmäßig erscheint, panikieren Sie nicht. Meistens liegt das an einer Fehljustierung zwischen dem Element und dem Spiegel. Eine kleine Anpassung reicht meistens aus, um das Problem zu beheben.
Ein paar Tipps für die Installation:
*Verwenden Sie einen stabilen PID-Controller. So wird verhindert, dass die Temperatur zu hoch wird und Ihre Werkstücke beschädigt werden.
*Tragen Sie Handschuhe. Die Goldbeschichtung hasst Fingerabdrücke. Die Öle von der Haut können tatsächlich in die Oberfläche eindringen und dauerhafte dunkle Flecken hinterlassen, die man nicht mehr entfernen kann.