
防止设备变成“烤箱”
红外灯的问题在于:它们会向各个方向散发热量。当处理那些空间有限的半导体器件时,这就成了一个难题。如果没有反射器的话,大约一半的能量都会白白浪费在设备的内壁上。更糟糕的是,这会导致设备外壳温度过高,从而灼伤操作人员,还会加速组件损坏的速度。
我们通过使用精制铝制反射器来解决这个问题。这样,热量就能被引导到正确的位置,而不会散失到其他地方。
其工作原理
可以把它想象成把红外波反射回工件上。我们选择高纯度铝材料,因为它能够有效反射短波和中等波长的红外光。通过将反射器设计成抛物线形或椭圆形,就可以将原本分散的热量集中起来,从而避免“废热”渗透到设备框架中。
为什么这能带来便利
使用带反射器的系统后,设备内部的温度就会保持较低水平。这样一来,冷却风扇就不必一直全速运转。同时,设备外部的温度也不会过高,不会让人感到不适。虽然晶圆或基板的受热程度更高了,但设备本身并不会像桑拿房那样热。
需要注意的缺点
不过,反射器并非万能的。它们会增加灯具的体积,因此可能需要调整安装支架才能使其适配。此外,铝材也不是绝对不会被氧化的,表面也容易积灰。一旦出现这种情况,设备的效率就会下降,热量又会重新渗入设备内部。因此,必须定期清洁反射器,才能保证设备正常运行。
另外,还要确保有适当的隔热措施,这样才能防止反射器在长时间承受高压时发生变形。