2.5D/3D ICパッケージヒーター
床面上では、2.5D/3D ICパッケージングにおいては、熱偏差が生じる余地がありません。ウェルドフィルやリフロー領域に冷たい部分があるだけで、空洞や配線の剥離が発生し、結果としてウェーハ全体が廃棄処分になってしまいます。私たちが開発した2.5D/3D ICパッケージング用ヒーターは、このような状...
アクセリスのヒーター素子の交換用部品
リソグラフィー工程において、ベイクモジュールは妥協を許しません。ソフトベイクではフォトレジストの応力を調整し、溶剤を除去します。一方、ハードベイクではエッチング処理の前にフォトレジストの形状を固定します。Axcelisヒーター要素の位置がずれると、温度の均一性が失われます。その結果、ウェーハ全体で...
電池セパレーターフィルム乾燥機製造工場
製造現場では、焼成工程がどれだけ素早く不安定になり得るかがわかります。わずか半度の偏差があっても、重要な寸法が変わってしまい、フォトレジストに欠陥が生じます。半導体加工装置に組み込まれているバッテリー用セパレーターフィルムの乾燥装置では、熱安定性は単なる望ましい特性ではなく、最も重要な要素です。も...
ゴールドチューブ式赤外線ヒーター
10年前、私たちは裏方で働く工場であり、他のブランド向けにヒーティングコアを静かに製造していました。安定した出力を維持する方法や、部品の寿命を延ばす方法、強制的な暖かさではなく自然な暖かさを提供する方法など、学ぶべきことは山ほどありました。その経験が、私たちのゴールドチューブ式赤外線ヒーターに活か...
エコモードの電気ストーブ
冬の夜、自宅で過ごす時間は、快適さ、コスト、そして乾燥した空気との間の妥協に費やされてはいけません。快適に座っているつもりでも、部屋が思ったよりも寒く感じられます。従来のヒーターはオンオフを繰り返し、熱い空気を送り出しますが、その空気はすぐに冷めてしまい、肌や鼻の中が乾燥してしまいます。そこで私た...
工業用電気ヒーター
気温が下がると、オフィスの空気は生産性を妨げる要因になります。肩がこったり、指先が冷たくなったりするし、スペースヒーターではデスクまで十分な温かさが届きません。その結果、毛布を使う回数が増えたり、邪魔が入ったり、冬の風邪が簡単に広がってしまいます。
私たちが開発した工業用赤外線電気ヒーターは、人間...
高品質ウェーハ加熱ランプ
リソグラフィー装置の床面上では、ソフトベイク時にわずか0.5度のずれがあっても、CDバイアスが変化し、多くの良品ウエハーが損傷してしまいます。そうしたずれを防ぐために、私たちはウエハー加熱用ランプを独自に開発しました。これにより、設定値を正確に維持でき、推測に頼らずに温度をコントロールできます。...
半導体ヒーター用熱電対
製造現場においては、ソフトベイクやハードベイクの際に0.5℃程度の温度変動があるだけで、CDがずれたり、オーバーレイが乱れたりし、多くのウェーハが廃棄処分になってしまいます。半導体ヒーターに搭載されている熱電対は単なる付属品ではありません。それは、工程内での温度を一定に保つための重要な要素です。こ...
アプリで制御可能な電気ヒーター
本格的な寒さが訪れると、誰も長時間待っているのを嫌います。電気式の赤外線ヒーターなら、部品が壊れたり劣化したりしても、修理に時間がかかったり、部品を完全に交換しなければならないことはありません。この赤外線ヒーターは、シンプルな考え方に基づいて作られています。5年後に部品の交換が必要になっても、迅速...
ツインチューブ型の金メッキランプ
製造現場では、いつも同じ手順で作業を行います。焼成温度が0.3°C変動するだけで、フォトレジストの形状がナノメートル単位で変わり、それによってウェーハ全体の線幅にばらつきが生じます。同じ工程を実行しても、依然として歩留まりは低下します。焼成処理というのは単なる加熱だけではなく、再現性も重要です。...
工業用ファンヒーター
冬が来ると、ペットにもその影響が現れます。関節が硬くなったり、血液の流れが遅くなったりします。一般的なヒーターは空気を温めますが、風や温度の変動によって、特に断熱処理が不十分な小屋やガレージ、屋外の飼育スペースでは、ペットが震えることがあります。
赤外線ヒーターは、この問題に対して異なるアプローチ...
半導体デバイスの特性評価用ヒーター
ライン上では、フォトレジストの安定性は「あればいい」ものではなく、まさに不可欠な要素です。ソフトベイクやハードベイク時の1°Cの温度変動だけで、全体の熱管理が崩れてしまい、エッチングの結果にもすぐに影響が出ます。私たちは、このような温度変動を防止するために、半導体デバイス特性評価用のヒーターを開発...
卸売用電気ヒーター
ガラス張りの屋根裏部屋用サンルームは、明るくて通気性が良く、開放的な空間として非常に魅力的です。しかし、日が沈むと状況が一変します。暖かい空気が上昇し、ガラス越しに外に逃げていき、床が冷えてしまいます。温度を感じる前に、風を感じてしまうのです。
一方、赤外線ヒーターなら、その状況を逆転させることが...
小売店用ヒーター
顧客が試着室に入ったり、レジの列に並んだ瞬間から、寒さが忍び寄ってきます。風が吹くと、商品を見るのも大変になりますし、寒い更衣室は売上を損なう要因にもなり得ます。赤外線ヒーターなら、電源を入れるとすぐに暖かさが得られるため、この問題を解決できます。
技術的に重要な点 赤外線ヒーターは、空気を動かす...
真空対応の赤外線ヒーター
300mmラインでは、フォトレジストの焼成中に半度程度のずれが生じるだけで、ウェーハの幅が狂ってしまい、多くの製品が廃棄されてしまいます。これこそが、私たちがこの真空対応型IRヒーターを開発した背景です。ここでは、熱管理が非常に重要であり、クリーンルーム内の粒子数は分子単位で測定されます。
技術的...